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1.主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）
2.靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
3.靶材：Au（标配）
4.样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）
5.靶材尺寸：Ф50mm
6.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
7.离子电流表： 最大电流：50mA
8.定时器：最长时间：1-360s
10.可通入气体： 多种
11.最高电压： -2800 DCV
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