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普通会员
参数:
主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配)也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)
样品台:可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定制样品台
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
离子电流表:最大电流:100mA
定时器:数码 最长时间:0-360S
可通入气体:多种
最高电压:-1600 DCV
输入电压:220V(可做110V),50HZ
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