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普通会员
参数:
仪器尺寸:主机300mm×360mm×380mm(W×D×H)
蒸镀 300mm×360mm×160mm(W×D×H)
真空样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×110mm(D×H)
靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H)
溅射靶材:Au
溅射靶材大小:φ50mm
样品台:样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台,样品台可调节高度。也可根据自身要求定制样品台
溅射工作电压:0-1600V (DC)可调
溅射电流:0-50mA
溅射定时:0-360S
蒸碳电流0-100A(AC)
蒸发材料:碳纤维
蒸发工作电压:0-30V
可通入气体:多种
输入电压:220V(可做110V),50HZ
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