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主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。
样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）
样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定样品台
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表：最大电流：50mA
定时器：最长时间：0-360S
可通入气体：多种
最高电压：-1600 DCV
输入电压：220V(可做110V),50HZ
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