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2、真空样品室：直径：160mm，高：110mm
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm
4．工作真空： 2×10-1—10-1mbar
5.离子电流表：0-50mA
6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.溅射电压：-1600DVC
8.飞越真空泵（VRD-4）：1.1L/S
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体
10．针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。
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