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英鹏型号：YP-1100X-16防爆型号：YP-1100X-16/EX |
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
1、水：不需要 |
2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地 |
3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） |
4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 |
5、通风装置：不需要 |
1、电源：220V |
2、总功率：<2000W(包括镇空泵) |
3、真空室：0160mm×120mm |
4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 |
5、max均匀镀膜：045mm |
尺寸：400mmx300mm×400mm |
重量：30KG |
1、金靶材1个 |
2、进气针阀1个 |
3、保险丝2个 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
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