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超纯水处理系统的工艺流程大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为： 原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯 水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺 流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复 床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
超纯水处理系统流程简单、配置合理有效、处理效率高，例如以自来水水质的进水，其出水水质指标电阻 率可至≥17.5MΩcm。
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