扫描探针显微镜OLS4500

电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法，不会丢失观察对象。此外，该款显微镜可以进行纳米级观测。

涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 
观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。

明视场观察（IC元件）

微分干涉（DIC）观

激光微分干涉（DIC）观察

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后，所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速，正确的把观察对象移到SPM显微镜下面，所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。

一体机的机型，所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机，所以无需重新放置样品，即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能，所以能够高效输出*佳结果。

OLS4500实现了无缝观察和测量

【发现】可以迅速发现观察对象

使用光学显微镜的多种观察方法， 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜， 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长， 除了*常使用的明视场观察（BF）以外， 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比， 达到视觉立体效果的微分干涉观察（DIC）， 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外， OLS4500上还配有HDR功能（高动态范围功能）， 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成， 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。

BF 明视场
*常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。

DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差， 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。

简易偏振光
照射偏振光（有着特定振动方向的光线）， 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。

HDR　高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成， 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外，还可以强调纹理（表面状态），进行更精细的 
观察。

使用激光显微镜，可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像

OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的专用物镜， 实现了优异的平面分辨率。能以鲜明的影像呈现出光学显微镜中无法看到的观察对象。在激光微分干涉（DIC）模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。

明视场观察（玻璃板上的异物）

激光微分干涉观察

【接近】迅速发现观察对象，在SPM上正确完成观察

实现了无缝观察，不会丢失观察对象

OLS4500在电动物镜转换器上装配了涵盖低倍到高倍观察的4种物镜， 以及小型SPM单元。在光学显微镜或激光显微镜的50倍、100倍的实时观察中， 由于SPM扫描范围一直显示于视场中心， 所以把观察目标点对准该位置后， 只要切换到探针显微镜， 就能够正确接近观察对象。因此， 只需1次SPM扫描就能获取目标影像， 从而能够提高工作效率并降低微悬臂的损耗。

不会在SPM观察中迷失的、可切换式向导功能

使用探针显微镜开始观察之前， 可以在向导画面上设置所需的条件， 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。

【纳米级测量】简单操作，可以迅速获得测量结果

新开发的小型SPM测头， 减少了影像瑕疵

新开发的小型SPM测头

OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此，新开发的小型SPM测头提高了刚性，所以与传统产品相比，减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。

使用向导功能，自由放大SPM影像

使用向导功能， 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描， 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围， 所以大幅度提高了观察和测量的效率。

向导功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围

主机 规格

金属薄膜