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MKS 246C 单通道流量控制器电源 单读数

品牌名称
MKS
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美国MKS(万机仪器)公司

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产品详情
  • 控制和显示任何流量传感器

  • 兼容型号 358、558、1150、1359、1559、1179、1479

  • 使用前面板或模拟接口调节流速

MKS 246C规格

  • 展示

    3 1/2 位 0.56" 红色 LED,连续显示

  • 频道

    1

  • 输入信号

    1 x 0-5 VDC

  • 气体修正系数

    0.1 - 4.0(后面板)

  • 外部设定点

    0-5 伏直流

  • 外部开/关

    TTL 兼容

  • 模拟信号输出

    最小负载阻抗:10 k Ohm/通道

  • 非标度信号输出

    1 x 0-5 VDC = FS 的 0-100%

  • 缩放信号输出

    0-2 VDC(最大)

  • 行程点

    不适用

  • 电源输出

    ±15 VDC,0.5 安培,最大值 纹波 < 10 mV

  • 电源要求

    117/234 伏交流电 ±15%,50-60 赫兹

  • 用于

    质量流量控制器 179、180、579、1179、1479、1480、1559、1579、2179、M10M、M100

  • 工作温度

    15°C 至 40°C


接口连接器引脚

J9,9 针公头“D”型
别针描述
1模拟返回
20 至 1 VDC(标称)修正流量输出
3模拟返回
4远程开/关
5无连接
60 至 5 VDC MFC 输出
7设定点输入
8数字地面
9底盘通用



质量流量控制器连接器引脚

J8,15 针母头“D”型
别针描述
1无连接
2流量输入信号
3无连接
4无连接
5电源地
6-15 VDC(由 246 提供)
7+15 VDC(由 246 提供)
8设定点输出信号
9无连接
100 至 5 VDC 流量输出
11无连接
12模拟返回
13无连接
14无连接
15底盘通用


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