MKS 901P MicroPirani 和压电式 Loadlock 真空压力传感器

MKS 901 Plus (901P) 负载锁定传感器 (LLT) 专为负载锁定环境而设计，结合了压电和 Micro Pirani™ 真空传感器技术。与传统的热导率计相比，组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。

• 绝对压力测量范围从 1,000 到 10 SITIon: relative; vertical-align: baseline; top: -0.5em;">-5 Torr

• 单个传感器中的 3 传感器功能可实现广泛的测量范围

• 模拟、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本

• 可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示

• 快速、准确和可重复的压力测量减少了过程周期时间

• 三个可选设定点，响应时间快，可实现可靠的过程控制

901P规格

• 绝对测量范围

  1.0 x 10 -5至 1500 托

• 差分测量范围

  -760 至 +760 托

• 数字通讯

  RS485/RS232（4800 至 230400 波特）

• 传感器

  MicroPirani™（MEMS 热导率）
  压电微分（MEMS 振膜）

• 继电器

  3 个继电器 SPDT（可选）

• 设定点范围

  绝对值：5.0 x 10 -4至 1000 Torr：差值：-760 至 +100 Torr

• 校准气体

  空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸汽、CO2、氙气、氖气

• 工作温度

  0° 至 40°C（32° 至 104°F）

• 最高烘烤温度

  85°C (185°F)，非工作

• 数字控制

  调零、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认值、设定点功能：值、滞后、方向、启用、传感器状态、开关、LED 测试

• 数字状态

  绝压和压差读数、单位、设定点、工作时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商

• 模拟输出

  绝对压力：1 至 9 VDC，1 VDC/decade，100Ω 最大输出阻抗（16 位）

• 可选模拟输出 2

  压电差分：5 VDC = 0 Torr，1 VDC/decade（12 位）

• 继电器触点额定值

  1 A @ 3 0VAC/DC，电阻

• 继电器响应

  最大 100 毫秒

• 电源要求

  RS232/RS485：9 到 30 VDC，最大 < 1.2 瓦
  EtherCAT：9 到 30 VDC，最大 < 2 瓦

• 微皮拉尼精度

  5 x 10-4 to 1 x 10-3 Torr ±10% of reading
  1 x 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
  100 Torr to Atm ±25% of reading

• 微皮拉尼重复性

  1 x 10-3 至 100 Torr ±2% 读数

• 压电差分精度

  -10 至 +10 Torr ±10% 读数
  -100 至 -10 Torr ±8% 读数
  -760 至 -100 Torr ±1% 读数
  +10 至 100 Torr ±5% 读数

• 压电差分重复性

  -760 至 +10 Torr ±1% 读数

• 压电微分零稳定性

  满量程的 ±0.1%（满量程 = 760 Torr）

• 超压限制

  1500 托（绝对值）

• 内部容积

  (KF16) 2.8 毫升

• 外露材料

  硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304 不锈钢、Viton®

• 电子外壳和法兰

  304不锈钢

• 重量

  170 克（带 KF 16 法兰）

绝压和差压测量

901P 结合了绝压和差压测量技术，以提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量，范围为 50 -1000 Torr，其精度比热导率传感器更高。

MicroPirani™ 传感器技术

与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的传感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani™ 技术，901P 可以读取低至 10 -5 Torr 的压力，比标准皮拉尼传感器低 20 年。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 901P 可以安装在任何方向，而不会影响精度。

压电差分传感器技术

Piezo 是一种压差传感器，可确保在不同的气压条件下正确测量气压。压电技术是直接压力读数，允许测量独立于气体。压电传感器相对于大气压的测量范围为 -760 至 +760 Torr。

模拟压力输出

901P 还具有每十进制 1VDC 的模拟压力输出，可以连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供差压测量。

三个过程控制继电器

901P 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如互锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给差分压电测量或组合绝对 MicroPirani™ - 压电测量。

紧凑的设计

这些真空传感器的紧凑设计显着减少了真空计占用的空间量。这对系统设计人员特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统。

可选的集成触摸屏显示器

可选的集成触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上可以在 5 米以外看到来自单个传感器的显示压力读数或组合读数。