仪器多机尺寸：长610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔体总高490mm)
工作腔室尺寸：：金篇腔体：直径260mmX高270mm(外尺寸）
直径210mmX高270mm(内尺寸)
靶材尺寸：室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司）
靶材料：标配一杂直径50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金属膜）
靶枪冷却方式：水冷
真空系统：抗冲击涡轮分子泵，抽速为300L/s
前级机械泵：抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器
真空测量：采用复合真空计些测真空
极限真空度：5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)
电源：官流恒流电源：
翰入克压：220W
输出电压：0-600r可话
输出电流（沉积电流）：0-1.6A可调
教样台：旋装台（直径尺寸用户可选，最大不能超过中150mm)
工作气体：Ar笺管性气体（警自备气瓶及减压阀）
气路：谁射喜空度手动道整
沉积速宝：0-200nm
水冷：自循环冷却水机
电源电压：220V50Hz
启动功室：3KW
保修：贰年
仪器多机尺寸：长610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔体总高490mm)
工作腔室尺寸：：金篇腔体：直径260mmX高270mm(外尺寸）
直径210mmX高270mm(内尺寸)
靶材尺寸：室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司）
靶材料：标配一杂直径50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金属膜）
靶枪冷却方式：水冷
真空系统：抗冲击涡轮分子泵，抽速为300L/s
前级机械泵：抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器
真空测量：采用复合真空计些测真空
极限真空度：5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)
电源：官流恒流电源：
翰入克压：220W
输出电压：0-600r可话
输出电流（沉积电流）：0-1.6A可调
教样台：旋装台（直径尺寸用户可选，最大不能超过中150mm)
工作气体：Ar笺管性气体（警自备气瓶及减压阀）
气路：谁射喜空度手动道整
沉积速宝：0-200nm
水冷：自循环冷却水机
电源电压：220V50Hz
启动功室：3KW
保修：贰年