参数：
仪器尺寸：305mm×400mm×390mm（W×D×H）
真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H）
靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）
溅射靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。
溅射靶材大小：φ50mm
样品台：样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台
溅射工作电压：0-1600V (DC)可调
溅射电流：0-50mA
溅射定时：0-360S
蒸碳电流0-100A(AC)
蒸发材料：碳纤维
蒸发工作电压：0-30V
蒸发时间：0-1S
微型真空气阀：可连接φ3mm软管
可通入气体：多种
输入电压：220V(可做110V),50HZ
真空泵：2升机械旋转泵（国产VRD-8）