参数：
主机规格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）
靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表：最大电流：50mA
定时器：最长时间：3600s
微型真空气阀：可连接φ3mm软管
可通入气体：多种
最高电压：-1600 DCV
输入电压：220V(可做110V),50HZ
机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）