广州利勃机电股份有限公司

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度：99.999%

2、真空样品室：直径：160mm，高：110mm

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm

4．工作真空： 2×10-1—10-1mbar

5.离子电流表：0-50mA

6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。

7.溅射电压：-1600DVC

8.飞越真空泵（VRD-4）：1.1L/S

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体

10．针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。