产品名称 | 离子溅射仪 | |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用. | |
1、水：不需要 | ||
2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地 | ||
3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀） | ||
4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 | ||
5、通风装置：不需要 | ||
主要参数 | 1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵) | |
2、输出功率：1600VDC50mA(最大电流) | ||
3、石英置：0160mm×120mm | ||
4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，最高温度可到500℃：最长溅射时间不可超过5min) | ||
5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 | ||
7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni | ||
产品规格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm; | |
重量：50kg | ||
可选配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 | |
2、不锈钢波纹管(600mm) | ||
3、旋片式真空泵(120L/M) | ||
4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 | ||
5、加热型样品台 |
小型离子溅射仪喷金仪