腔体尺寸 | 石英玻璃，直径150mm*高度130mm | |
供电规格 | AC220V,200W | |
溅射电压 | MAX 2500V | |
溅射电流 | MAX 30mA | |
靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm | |
适用靶材 | 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 | |
样品台可调高度 | 20-50mm | |
样品台尺寸 | 直径55mm | |
工作真空度 | 1~20Pa | |
气体路数 | 单路 | |
补气流量 | 手动调节 | |
控制 | 触屏控制 | |
真空泵 | VRD-8 腔体尺寸石英玻璃，直径150mm*高度130mm供电规格AC220V,200W溅射电压MAX 2500V溅射电流MAX 30mA靶材尺寸直径57mm,厚度0.1~0.5mm适用靶材贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等样品台可调高度20-50mm样品台尺寸直径55mm工作真空度1~20Pa气体路数单路补气流量手动调节控制触屏控制真空泵VRD-8 |
小型离子溅射仪喷金仪