参数 | 英鹏型号：YP-400CIS防爆型号：YP-400CIS/EX |
外形尺寸 | 424*265*260MM |
输入电压 | 220V/50Hz |
溅射电压 | 600V |
工作原理 | 磁控溅射 |
最大功率 | 4507 |
靶材尺寸 | 057*0.12MM (AU) |
可选靶材 | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材 |
真空泵 | 直连式两级旋片式真空泵1心/S |
真空室 | 0128*130MM高强度玻璃 |
极限真空 | 1PA(电阻式真空规) |
抽气节拍 | ≤90S |
样品杯 | 00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个 |
样品室进气 | 自动：高精度微量进气阀 |
进气接头 | O4快拧接头（外径4M,内径2.5MM气管) |
江作电流 | 5-45MA任意可调 |
颗粒大小 | 6-10NM |
保护功能 | 过流保护、真空保护 |
离子溅射仪喷金仪